软X射线接触式光刻术的初步实验

郭玉彬; 李福田; 唐九华

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软X射线接触式光刻术的初步实验

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 软X射线接触式光刻术的初步实验
- An Experiment of Soft X-ray Contact Lithography
- 光学精密工程 1993年1卷第4期页码：1-5
- 作者机构：
  
  中国科学院长春光学精密饥械研究所长春,130022
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号： TN470.57
- 收稿日期：1993-09-27，
  
  网络出版日期：1993-08-15，
  
  纸质出版日期：1993-08-15
- 稿件说明：
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郭玉彬, 李福田, 唐九华. 软X射线接触式光刻术的初步实验[J]. 光学精密工程, 1993,1(4): 1-5

Guo Yuhin, Li Futian, Tang Jinhua. An Experiment of Soft X-ray Contact Lithography[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1993,1(4): 1-5
郭玉彬, 李福田, 唐九华. 软X射线接触式光刻术的初步实验[J]. 光学精密工程, 1993,1(4): 1-5 DOI：

Guo Yuhin, Li Futian, Tang Jinhua. An Experiment of Soft X-ray Contact Lithography[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1993,1(4): 1-5 DOI：

摘要

描述了用激光等离子体软

射线源进行软

线接触式光刻术的研究

并得到了分辨率优于5m的结果。

Abstract

Using a laser produced-plasma as soft X-ray source for contact lithography is described in this paper and the resolution of our experiment is better than 5m.

关键词

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