激光等离子体软X线光源的研究

李K

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激光等离子体软X线光源的研究

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 激光等离子体软X线光源的研究
- Investigation on Soft X-ray Laser Produced Plasma Source
- 光学精密工程 1993年1卷第5期页码：41-45
- 作者机构：
  
  中国科学院长春光学精密机械研究所长春,130022
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：1993-11-20，
  
  网络出版日期：1993-10-15，
  
  纸质出版日期：1993-10-15
- 稿件说明：
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李K. 激光等离子体软X线光源的研究[J]. 光学精密工程, 1993,(5): 41-45

Li K. Investigation on Soft X-ray Laser Produced Plasma Source[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1993,(5): 41-45
李K. 激光等离子体软X线光源的研究[J]. 光学精密工程, 1993,(5): 41-45 DOI：

Li K. Investigation on Soft X-ray Laser Produced Plasma Source[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1993,(5): 41-45 DOI：

摘要

本文设计了一种高精度旋转靶系统的激光等离子体软X线光源

亮度高

强度大

光斑尺寸(100～200)μm

脉冲时间几十纳秒

可以辐射出直至软X线的连续光谱及迭加在连续光谱之上的线光谱

峰值波长位于(13～17)nm。在多次测量取平均的方式下

其稳定性和重复性优于±4.5%。

Abstract

This thesis designs a Laser -Produced Plasma(LPP) source with high precision rotation target system

The laser system used as excitation source is a Q-Switched Nb:YAG laser emitting energies from 100mJ to 800mJ at a wavelength of 1. 06um with pulse duration of 8ns (FWHM) and pulse repetition rate of 1Hz.5Hz and 10Hz in combination with two sorts of focusing lenses of 90mm and 240mm focal length. The LPP source developed has short duration of the emission (tens ns)

small light spot(100-200um)

high brightness and high intensity. It can produce considerable amount of Soft X-ray-Vaccum Ultraviolet spectra radiation both line emission and continue emission. In the mean time

the radiative peak wavelength can be adjusted from 13nm to 17nm. The stability and reproducibility of the LPP source is better than4.5%.

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