同步辐射超光滑X光学元件的加工工艺及检测技术的研究

程曙初

doi:null

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

同步辐射超光滑X光学元件的加工工艺及检测技术的研究

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 同步辐射超光滑X光学元件的加工工艺及检测技术的研究
- study on Fabricafion and Testing of Supersmooth Soft X-Ray Optical Elements for Synchrotron Radiation
- 光学精密工程 1994年2卷第4期页码：69-78
- 作者机构：
  
  中国科学院长春光学精密机械研究所长春,130021
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：1994-03-10，
  
  网络出版日期：1994-08-15，
  
  纸质出版日期：1994-08-15
- 稿件说明：
移动端阅览
程曙初. 同步辐射超光滑X光学元件的加工工艺及检测技术的研究[J]. 光学精密工程, 1994,(4): 69-78

Cheng Shuchu. study on Fabricafion and Testing of Supersmooth Soft X-Ray Optical Elements for Synchrotron Radiation[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1994,(4): 69-78
程曙初. 同步辐射超光滑X光学元件的加工工艺及检测技术的研究[J]. 光学精密工程, 1994,(4): 69-78 DOI：

Cheng Shuchu. study on Fabricafion and Testing of Supersmooth Soft X-Ray Optical Elements for Synchrotron Radiation[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1994,(4): 69-78 DOI：

摘要

综述了该领域的研究现状

发展水平

以及同步辐射光学元件的特点;对超光滑表面的加工工艺及检测技术进行了归纳总结;详细阐述了本人所承担的中国科学院高能物理所同步辐射光束线的关键部件一超环面反射镜的加工与检测的研究。用户反馈的信息表明其性能优于美国生产的同类产品

标志着在该领域

我们已接近或达到国外先近水平。

Abstract

The first part of the thesis gives a description in detail about the recent situation and development in this field

the character of the supersmooth X-ray/EUV optical elements forsynchrotron radication photoemission experiments

sums up the fabrication method and testing technology at present.The second part of this thesis describes the research which authorhas been engaged in on the fabrication and testing of the supersmooth toroidal mirror.According to the use of the toroidal mirror in beam line 4B9B at BEPC

We know that the main technology parameter of the toroidal mirror we produced is superior to that of the same product made in U.S.A.

关键词

Keywords

references

浏览量

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

超光滑光学表面加工技术