降低硅微机械加速度传感器横向灵敏度的方法

费龙; 钟先信; 温志渝; 刘桂雄; 高扬

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降低硅微机械加速度传感器横向灵敏度的方法

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 降低硅微机械加速度传感器横向灵敏度的方法
- Methods for reducing Senssitivity of Micromachined Silicon Accelerometer
- 光学精密工程 1995年3卷第1期页码：64-68
- 作者机构：
  
  国家教委光电技术及系统开放实验室, 重庆大学, 重庆630044
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家教委博士点基金()
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：1994-09-19，
  
  网络出版日期：1995-02-15，
  
  纸质出版日期：1995-02-15
- 稿件说明：
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费龙, 钟先信, 温志渝, 刘桂雄, 高扬. 降低硅微机械加速度传感器横向灵敏度的方法[J]. 光学精密工程, 1995,(1): 64-68

Fei Long, Zhong Xianxin, Wen Zhiyu, Lin Guixiong, GaoYang. Methods for reducing Senssitivity of Micromachined Silicon Accelerometer[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1995,(1): 64-68
费龙, 钟先信, 温志渝, 刘桂雄, 高扬. 降低硅微机械加速度传感器横向灵敏度的方法[J]. 光学精密工程, 1995,(1): 64-68 DOI：

Fei Long, Zhong Xianxin, Wen Zhiyu, Lin Guixiong, GaoYang. Methods for reducing Senssitivity of Micromachined Silicon Accelerometer[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1995,(1): 64-68 DOI：

摘要

本文分析了硅微机械加速度传感器横向灵敏度产生的原因

并介绍了降低它的方法。

Abstract

This paper analyses the cross sensitivity of miromachined silieon accelerometer.Methodsfor reducing sensitivity of micromachined silicon accelerometer are described.

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Methods for reducing Senssitivity of Micromachined Silicon Accelerometer

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