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用磁控溅射法制备软X射线多层膜
论文 | 更新时间:2020-08-12
    • 用磁控溅射法制备软X射线多层膜

    • Soft X-ray Multilayer Fabrication by Magnetron Sputtering

    • 光学精密工程   1995年3卷第1期 页码:16-20
    • 收稿日期:1994-06-17

      网络出版日期:1995-02-15

      纸质出版日期:1995-02-15

    移动端阅览

  • 张俊平, 马月英, 高宏刚, 陈斌, 裴舒, 吕俊霞, 曹健林. 用磁控溅射法制备软X射线多层膜[J]. 光学精密工程, 1995,(1): 16-20 DOI:

    Zhang Junping, Ma Yueying, Gao Honggang, Chen Bin, Pei Shu, Lu Junxia, Cao Jianlin. Soft X-ray Multilayer Fabrication by Magnetron Sputtering[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1995,(1): 16-20 DOI:

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