用于微机械工艺的精密电铸设备

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用于微机械工艺的精密电铸设备

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 用于微机械工艺的精密电铸设备
- Precision Plating Device Applied to MEMS Technology
- 光学精密工程 1995年3卷第3期页码：60-63
- 作者机构：
  
  中国科学院长春光学精密机械研究所长春,130022
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家重点自然科学基金()
- DOI：
  中图分类号：
- 网络出版日期：1995-06-15，
  
  纸质出版日期：1995-06-15
- 稿件说明：
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陈英俊, 徐峰林, 宣明. 用于微机械工艺的精密电铸设备[J]. 光学精密工程, 1995,(3): 60-63

Chen Yingjun, Xu Fenglin, Xuan Ming. Precision Plating Device Applied to MEMS Technology[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1995,(3): 60-63
陈英俊, 徐峰林, 宣明. 用于微机械工艺的精密电铸设备[J]. 光学精密工程, 1995,(3): 60-63 DOI：

Chen Yingjun, Xu Fenglin, Xuan Ming. Precision Plating Device Applied to MEMS Technology[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1995,(3): 60-63 DOI：

本文介绍用于微型机械LIGA工艺的精密电铸设备。文内给出了精密电铸设备的技术参数、系统结构、软件流程及初步实验效果。此设备填补了国内微机械精密电铸设备的空白。

A precision plating device applied to LIGA technology is introduced in this paper. The paper gives the technical parameters

the structure

the control Software and the initial experiment results of the device. This device is the first one for MEMS made in china.

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