微电子机械系统中的压电薄膜微马达

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微电子机械系统中的压电薄膜微马达

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 微电子机械系统中的压电薄膜微马达
- Piezoelectric Thin Film Micromotors in MEMS
- 光学精密工程 1995年3卷第4期页码：1-6
- 作者机构：
  
  中国科学院长春光学精密机械研究所长春,130022
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金(41301448)
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：1995-06-26，
  
  网络出版日期：1995-08-15，
  
  纸质出版日期：1995-08-15
- 稿件说明：
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崔天宏, 王立鼎, 吕琼莹, 马建旭, 梁静秋. 微电子机械系统中的压电薄膜微马达[J]. 光学精密工程, 1995,(4): 1-6

Cui Tianhong, Wang Liding, Lu Qiongying, Ma Jianxu, Liang Jingqiu. Piezoelectric Thin Film Micromotors in MEMS[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1995,(4): 1-6
崔天宏, 王立鼎, 吕琼莹, 马建旭, 梁静秋. 微电子机械系统中的压电薄膜微马达[J]. 光学精密工程, 1995,(4): 1-6 DOI：

Cui Tianhong, Wang Liding, Lu Qiongying, Ma Jianxu, Liang Jingqiu. Piezoelectric Thin Film Micromotors in MEMS[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1995,(4): 1-6 DOI：

本文提出了压电薄膜微马达的工作原理

介绍了该马达的优良性能、结构形式和加工工艺

最后指出了该马达研制的关键技术以及应用前景。

This paper presents the drive mechanism of the piezoelectric thin film micromotors(PTFM)

then introduces the fine performance

structure and machining process of PTFM

finally points out the key technology and application prospect of PTFM.

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