红外干涉仪调试和测量技术的研究

黄深旺; 陈磊; 陈进榜; 金国佑

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红外干涉仪调试和测量技术的研究

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 红外干涉仪调试和测量技术的研究
- Research on Techniques of Alignment and Measurement about Infrared Interferometer
- 光学精密工程 1996年4卷第2期页码：98-102
- 作者机构：
  
  南京理工大学电光分院南京,210094
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：1995-09-26，
  
  网络出版日期：1996-04-15，
  
  纸质出版日期：1996-04-15
- 稿件说明：
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黄深旺, 陈磊, 陈进榜, 金国佑. 红外干涉仪调试和测量技术的研究[J]. 光学精密工程, 1996,(2): 98-102

Huang Shenwang, Chen Lei, Chen Jinbang, Jin Guoyou. Research on Techniques of Alignment and Measurement about Infrared Interferometer[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1996,(2): 98-102
黄深旺, 陈磊, 陈进榜, 金国佑. 红外干涉仪调试和测量技术的研究[J]. 光学精密工程, 1996,(2): 98-102 DOI：

Huang Shenwang, Chen Lei, Chen Jinbang, Jin Guoyou. Research on Techniques of Alignment and Measurement about Infrared Interferometer[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1996,(2): 98-102 DOI：

摘要

从干涉计量术方面对自行研制的移相式CO

红外激光干涉仪进行了研究并提供了精确定位红外光路的调试技术

应用该干涉仪对红外光学元件及系统进行了测量;最后

对本干涉仪的系统误差作了测试和分析.结果表明

本仪器系统误差优于λ/20(λ=10.6μm).

Abstract

This paper does some researches on the self-developed phase-shifting CO

infrared interferometer from the aspect of interferometry

and provides a technique which is used to aligninfrared interferometer precisely. Measurements of infrared components and systems are taken on this infrared interferometer. Finally

the system error of the infrared interferometer ismeasured and analysed

which is better than A/20(λ=10.6μm)as shown in results.

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相关机构

成都太科光电技术有限责任公司

成都精密光学工程研究中心

中国工程物理研究院机械制造工艺研究所

南京理工大学电子工程与光电技术学院

中国兵器工业集团南京北方信息产业集团2. 南京理工大学电子工程与光电技术学院

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