微型机械运动参数测试仪光学机械系统研究

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微型机械运动参数测试仪光学机械系统研究

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 微型机械运动参数测试仪光学机械系统研究
- Research into an Optical and Mechanical System of the Instrument for Measuring Dynamics of Micromechanism
- 光学精密工程 1996年4卷第2期页码：48-52
- 作者机构：
  
  中国科学院长春光学精密机械研究所长春,130022
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：1995-12-18，
  
  网络出版日期：1996-04-15，
  
  纸质出版日期：1996-04-15
- 稿件说明：
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张二星. 微型机械运动参数测试仪光学机械系统研究[J]. 光学精密工程, 1996,(2): 48-52

Zhang Erxing. Research into an Optical and Mechanical System of the Instrument for Measuring Dynamics of Micromechanism[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1996,(2): 48-52
张二星. 微型机械运动参数测试仪光学机械系统研究[J]. 光学精密工程, 1996,(2): 48-52 DOI：

Zhang Erxing. Research into an Optical and Mechanical System of the Instrument for Measuring Dynamics of Micromechanism[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1996,(2): 48-52 DOI：

微型机械运动参数的测试是微型机械研究工作的基础.本文介绍微型机械运动参数测试仪的工作原理和关键技术

并对仪器的精度进行了分析.

It is important to measure dynamics of micromechanism in its research work. In this paper

the work principle and key technique of the instrument for measuring dynamics of micromechnism are presented and the mesurement accuracy is analysed.

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