激光光刻成型法在微型机械研究中的应用

沈连官; 王翔; 邓益民

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激光光刻成型法在微型机械研究中的应用

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 激光光刻成型法在微型机械研究中的应用
- Application of Laser Photoforming Technology in Machining of micromachines
- 光学精密工程 1995年3卷第2期页码：11-15
- 作者机构：
  
  中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,安徽合肥,230026
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  中国科学技术大学青年基金()
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：1995-01-12，
  
  网络出版日期：1995-04-15，
  
  纸质出版日期：1995-04-15
- 稿件说明：
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沈连官, 王翔, 邓益民. 激光光刻成型法在微型机械研究中的应用[J]. 光学精密工程, 1995,(2): 11-15

Shen Lianguan, Wang Xiang, Den Yimi. Application of Laser Photoforming Technology in Machining of micromachines[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1995,(2): 11-15
沈连官, 王翔, 邓益民. 激光光刻成型法在微型机械研究中的应用[J]. 光学精密工程, 1995,(2): 11-15 DOI：

Shen Lianguan, Wang Xiang, Den Yimi. Application of Laser Photoforming Technology in Machining of micromachines[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1995,(2): 11-15 DOI：

摘要

本文扼要介绍了现阶段国内外用于研制微型机械的主要方法

着重介绍了激光光刻成型法的基本原理、制作微型机械的工艺途径、技术特色及其应用前景。

Abstract

The machining methods and technology of micro-machines currently applied in the worldare briely introduced foundamental princile of Iaser photoforming technology and itsapplication in machining of micromachines are presented.The paper also looks into its futureresearch and application trends.

关键词

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