几种新型集成硅微(型)传感器系统

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几种新型集成硅微(型)传感器系统

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 几种新型集成硅微(型)传感器系统
- Review of Some Integrated Silicon Micro-sensor Systems
- 光学精密工程 1996年4卷第1期页码：25-28
- 作者机构：
  
  重庆大学国家教委光电技术及系统开放实验室重庆,630044
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金(41301448)
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：1995-07-17，
  
  网络出版日期：1996-02-15，
  
  纸质出版日期：1996-02-15
- 稿件说明：
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温志渝, 费龙, 胡松, 钟先信. 几种新型集成硅微(型)传感器系统[J]. 光学精密工程, 1996,(1): 25-28

Wen Zhiyu, Fei Long, Hu Song, Zhong Xianxin. Review of Some Integrated Silicon Micro-sensor Systems[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1996,(1): 25-28
温志渝, 费龙, 胡松, 钟先信. 几种新型集成硅微(型)传感器系统[J]. 光学精密工程, 1996,(1): 25-28 DOI：

Wen Zhiyu, Fei Long, Hu Song, Zhong Xianxin. Review of Some Integrated Silicon Micro-sensor Systems[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1996,(1): 25-28 DOI：

介绍了作者近年来在硅微机械加工技术和半导体集成电路技术相结合的基础上研制的硅微机械与光纤组合式阵列声传感器、集成硅微机械光压力传感器和微型多道成像光谱分析系统的结构、工作原理及制造工艺.

This paper reviews some integrated silicon micro-sensor systems

hybrid silicon micromachine and optical fibre array sensor

integrated silicon micro-mechancial optical pressuresensor and micro-multichannel spectrum analyzer

which have been developed by authors inrecent years.The structures

working principles and frbrication processes are briefly introduced.

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