李路明, 王立鼎. MEMS研究的新进展——微型系统及其发展应用的研究[J]. 光学精密工程, 1997,(1): 67-73

Li Luming, Wang Liding. Microsystem and its Development and Applications[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1997,(1): 67-73

李路明, 王立鼎. MEMS研究的新进展——微型系统及其发展应用的研究[J]. 光学精密工程, 1997,(1): 67-73 DOI：

Li Luming, Wang Liding. Microsystem and its Development and Applications[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1997,(1): 67-73 DOI：