您当前的位置:
首页 >
文章列表页 >
GaN 用衬底材料 LiGaO2 晶体超精密抛光的初步实验
论文 | 更新时间:2020-08-12
    • GaN 用衬底材料 LiGaO2 晶体超精密抛光的初步实验

    • The Primary Study of Superpolishing of LiGaO2 Single Crystal for a Substrate of GaN Thin Film

    • 光学精密工程   1997年5卷第5期 页码:57-62
    • 收稿日期:1997-06-10

      网络出版日期:1997-10-15

      纸质出版日期:1997-10-15

    移动端阅览

  • 谢伦, 高宏刚, 陈斌, 曹健林, 王建明, 刘琳. GaN 用衬底材料 LiGaO<sub>2</sub> 晶体超精密抛光的初步实验[J]. 光学精密工程, 1997,(5): 57-62 DOI:

    Xie Lun, Gao Honggang, Chen Bin, Cao Jianlin, Wang Jianming, Liu Lin. The Primary Study of Superpolishing of LiGaO<sub>2</sub> Single Crystal for a Substrate of GaN Thin Film[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1997,(5): 57-62 DOI:

  •  
  •  

0

浏览量

735

下载量

1

CSCD

文章被引用时,请邮件提醒。
提交
工具集
下载
参考文献导出
分享
收藏
添加至我的专辑

相关文章

镍渣改质及其在磁性复合流体抛光中的应用
机器人抛光M-ZnS去除函数建模与工艺参数优化
8寸CMP设备对小尺寸镀铜InP晶圆的工艺开发
磁性复合流体抛光过程中水分对抛光性能的影响
单晶硅激光辅助超精密切削工艺优化与表面特性

相关作者

王有良
于璞垚
尹新城
张文娟
臧艺凯
朱蓓蓓
秦琳
尚瑶

相关机构

兰州理工大学 有色金属先进加工与再利用国家重点实验室
兰州理工大学 机电工程学院
兰州理工大学 数字制造技术与应用教育部重点实验室
华中科技大学 机械科学与工程学院
上海航天控制技术研究所
0