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像差在临界角方法探焦技术中的影响
论文 | 更新时间：2020-08-12

    • 像差在临界角方法探焦技术中的影响

    • The Influence of Aberration on Measuring Sensitivity in Critical angle Method of Total Reflection for Focus Error Detection

    • 光学精密工程   1998年6卷第1期 页码：122-126

    • 收稿日期：1997-07-09，

      网络出版日期：1998-02-15，

      纸质出版日期：1998-02-15

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  • 侯澍. 像差在临界角方法探焦技术中的影响[J]. 光学精密工程, 1998,(1): 122-126 DOI：

    HOU Shu . The Influence of Aberration on Measuring Sensitivity in Critical angle Method of Total Reflection for Focus Error Detection[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1998,(1): 122-126 DOI：

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相关机构

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中国科学院大学
中国科学技术大学, 国家同步辐射实验室
安徽师范大学, 物理系, 安徽, 芜湖, 241000
中国科学技术大学, 工程科学学院
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