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用有限元法对原子力显微镜力传感器结构优化的研究
论文 | 更新时间：2020-08-12

    • 用有限元法对原子力显微镜力传感器结构优化的研究

    • Investigation of Structural Optimization of the Force Sensor for the Atomic Force Microscope with the Finite Element Analysis

    • 光学精密工程   1998年6卷第1期 页码：36-41

    • 收稿日期：1997-07-21，

      网络出版日期：1998-02-15，

      纸质出版日期：1998-02-15

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  • 王晓晔, 薛实福, 李庆祥, 徐毓娴, 白立芬, 于水. 用有限元法对原子力显微镜力传感器结构优化的研究[J]. 光学精密工程, 1998,(1): 36-41 DOI：

    WANG Xiao-Ye, XUE Shi-Fu, LI Qing-Xian, XU Yu-Xian, BAI Li-Fen, YU Shui . Investigation of Structural Optimization of the Force Sensor for the Atomic Force Microscope with the Finite Element Analysis[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1998,(1): 36-41 DOI：

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相关作者

徐毓娴
李庆祥
王晓晔
刘永生
薛实福
倪凯佳
章海军
胡逸凡

相关机构

清华大学精密仪器与机械学系
浙江大学 光电科学与工程学院现代光学仪器国家重点实验室
上海市计量测试技术研究院 机械与制造计量技术研究所
哈尔滨工业大学 仪器科学与工程学院
中国计量科学研究院
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