微米纳米技术及微型机电系统

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微米纳米技术及微型机电系统

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 微米纳米技术及微型机电系统
- Microtechnology/Nanotechnology and MEMS
- 光学精密工程 1998年6卷第1期页码：1-7
- 作者机构：
  
  清华大学精密仪器与机械学系, 北京 100048
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：1997-04-14，
  
  修回日期：1997-10-20，
  
  网络出版日期：1998-02-15，
  
  纸质出版日期：1998-02-15
- 稿件说明：
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周兆英, 叶雄英, 崔天宏, 张联. 微米纳米技术及微型机电系统[J]. 光学精密工程, 1998,(1): 1-7

ZHOU Zhaog-Ying, YE Xiong-Ying, CUI Tian-Hong, ZHANG Lian . Microtechnology/Nanotechnology and MEMS[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1998,(1): 1-7
周兆英, 叶雄英, 崔天宏, 张联. 微米纳米技术及微型机电系统[J]. 光学精密工程, 1998,(1): 1-7 DOI：

ZHOU Zhaog-Ying, YE Xiong-Ying, CUI Tian-Hong, ZHANG Lian . Microtechnology/Nanotechnology and MEMS[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1998,(1): 1-7 DOI：

微型机电系统和微型制造技术是一个新兴的技术领域。本文论述微米纳米制造技术的发展过程

微细加工的进展

微型机电系统的概念、主要研究课题

以及它的应用领域。

MEMS and micro machine technology is a developing field.This paper deals with the process of microtechnology/nanotechnology

micro machining

the concept and main topic of MEMS and other fields.

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