衍射光学元件制作技术及未来展望

任延同; 付永启

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衍射光学元件制作技术及未来展望

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 衍射光学元件制作技术及未来展望
- Fabrication Technology & Future Development for Diffractive Optical Elements
- 光学精密工程 1997年5卷第2期页码：7-11
- 作者机构：
  
  中国科学院长春光学精密机械研究所, 长春, 130022, 长春, 130022
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：1996-09-09，
  
  网络出版日期：1997-04-15，
  
  纸质出版日期：1997-04-15
- 稿件说明：
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任延同, 付永启. 衍射光学元件制作技术及未来展望[J]. 光学精密工程, 1997,(2): 7-11

Ren Yantong, Fu Yongqi. Fabrication Technology & Future Development for Diffractive Optical Elements[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1997,(2): 7-11
任延同, 付永启. 衍射光学元件制作技术及未来展望[J]. 光学精密工程, 1997,(2): 7-11 DOI：

Ren Yantong, Fu Yongqi. Fabrication Technology & Future Development for Diffractive Optical Elements[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1997,(2): 7-11 DOI：

摘要

回顾了衍射光学元件(DOE)制作技术的发展过程

介绍了未来制作技术的发展以及元件演变的未来趋势。

Abstract

Development process of fabrication technology for diffractive optical elements(DOE) is recalled in this paper.The fabrication technolgoy and its designing tendency in the future are introduced.

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衍射光学元件制作技术及未来展望

Fabrication Technology & Future Development for Diffractive Optical Elements

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