线阵 CCD 光敏面不平度测量装置设计与电路实现

贺庚贤

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线阵 CCD 光敏面不平度测量装置设计与电路实现

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 线阵 CCD 光敏面不平度测量装置设计与电路实现
- Design of the Equipment for Measuring Degree of Unevenness ofLinear CCD Photosensitive Surface and Relization of Circuit
- 光学精密工程 1998年6卷第3期页码：117-121
- 作者机构：
  
  中国科学院长春光学精密机械研究所长春,130022
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：1998-02-20，
  
  修回日期：1998-03-06，
  
  网络出版日期：1998-06-15，
  
  纸质出版日期：1998-06-15
- 稿件说明：
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贺庚贤. 线阵 CCD 光敏面不平度测量装置设计与电路实现[J]. 光学精密工程, 1998,(3): 117-121

HE Geng-Xian . Design of the Equipment for Measuring Degree of Unevenness ofLinear CCD Photosensitive Surface and Relization of Circuit[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1998,(3): 117-121
贺庚贤. 线阵 CCD 光敏面不平度测量装置设计与电路实现[J]. 光学精密工程, 1998,(3): 117-121 DOI：

HE Geng-Xian . Design of the Equipment for Measuring Degree of Unevenness ofLinear CCD Photosensitive Surface and Relization of Circuit[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1998,(3): 117-121 DOI：

摘要

介绍了以测微导轨、微调平台、显微物镜、电感测微仪和微机为主要组成部分的线阵CCD光敏面不平度测量装置的工作原理

详细论述了微机接口电路的设计及实现方法。

Abstract

This paper intruduces the principle of the equipment for measuring degree of unevenness of linear CCD photosensitive surface.The equipment is consisted of micrometric slideway、fine tuning plateform、micro lens、inductance micrometer and microcomputer.The method of design and relization of microcomputer's interface circuit is described in details.

关键词

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