一种基于剪切力的距离控制方法在扫描近场光学显微镜中的应用

王昕; 王克逸; 黄文浩; 林松

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一种基于剪切力的距离控制方法在扫描近场光学显微镜中的应用

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 一种基于剪切力的距离控制方法在扫描近场光学显微镜中的应用
- A Shear force Detection Method for Tip Sample Distance Control in SNOM
- 光学精密工程 1998年6卷第3期页码：74-78
- 作者机构：
  
  中国科学技术大学精密机械与精密仪器系合肥,230026
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：1997-11-12，
  
  修回日期：1998-02-26，
  
  网络出版日期：1998-06-15，
  
  纸质出版日期：1998-06-15
- 稿件说明：
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王昕, 王克逸, 黄文浩, 林松. 一种基于剪切力的距离控制方法在扫描近场光学显微镜中的应用[J]. 光学精密工程, 1998,(3): 74-78

WANG Xin, WANG Ke-Yi, HUANG Wen-Hao, LIN Song . A Shear force Detection Method for Tip Sample Distance Control in SNOM[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1998,(3): 74-78
王昕, 王克逸, 黄文浩, 林松. 一种基于剪切力的距离控制方法在扫描近场光学显微镜中的应用[J]. 光学精密工程, 1998,(3): 74-78 DOI：

WANG Xin, WANG Ke-Yi, HUANG Wen-Hao, LIN Song . A Shear force Detection Method for Tip Sample Distance Control in SNOM[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1998,(3): 74-78 DOI：

摘要

介绍了扫描近场光学显微镜中基于剪切力的样品、探针间距离控制的方法。当受振动激励的光纤探针由远处逐渐接近样品表面时

样品与针尖间的剪切力使针尖的振动振幅减小

通过检测探针振幅的变化从而控制针尖与样品间的距离。此种方法可以方便地将光纤探针导入工作区域内并在扫描过程中保持适当的高度。我们测量了探针系统的幅频特性和力曲线

并用该方法获得4μm×4μm的范围内光盘表面的形貌信息。

Abstract

We present a non optical shear force detection system for tip sample distant control in scanning near field optical microscopes.When the vibrating tip is damped by the shear force

the voltage of the tip is decreased.Detecting this decrement tip sample distance can be easily controlled.Using the method

we can easily put the tip into the working area and keep the apposite height while the tip is scanning.We measure the curve of the frequency dependence of the induced voltage on the tip system and the curve of shear force signal versus tip sample distance.We demonstrate the performance of our distance control on a surface of a CD with the scanning range 4μm×4μm.

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