位相板在大型几何量形位误差测量中的应用

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位相板在大型几何量形位误差测量中的应用

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 位相板在大型几何量形位误差测量中的应用
- Application of Phase Plate in Measuring Large Scale Form and Position Errors
- 光学精密工程 1998年6卷第4期页码：118-122
- 作者机构：
  
  清华大学精仪系, 精密测试技术与仪器国家重点实验室北京,100084
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：1998-01-04，
  
  修回日期：1998-04-06，
  
  网络出版日期：1998-08-15，
  
  纸质出版日期：1998-08-15
- 稿件说明：
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郝群, 赵洋, 李达成, 曹芒. 位相板在大型几何量形位误差测量中的应用[J]. 光学精密工程, 1998,(4): 118-122

HAO Qun, ZHAO Yang, LI Da-Cheng, CAO Mang . Application of Phase Plate in Measuring Large Scale Form and Position Errors[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1998,(4): 118-122
郝群, 赵洋, 李达成, 曹芒. 位相板在大型几何量形位误差测量中的应用[J]. 光学精密工程, 1998,(4): 118-122 DOI：

HAO Qun, ZHAO Yang, LI Da-Cheng, CAO Mang . Application of Phase Plate in Measuring Large Scale Form and Position Errors[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1998,(4): 118-122 DOI：

介绍了利用位相板技术进行准直的工作原理和特点

以及如何利用该项技术有效地确定激光准直光束的几何基准

并介始了以此技术为基础的光学基准在大型几何量形位误差测量中的应用。

In this paper

principle and characteristics of the alignement technique with phase plate are described.By using the technique

the geometric datum of the alligned beam is dertermined effectively.Also in the paper

some applications of the technique in measuring large scale form and position errors are introduced.

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