干涉测距系统中的光程定位

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干涉测距系统中的光程定位

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 干涉测距系统中的光程定位
- Research on the Positioning Method for Interferometer System of Absolute Distance Measurement
- 光学精密工程 1999年7卷第1期页码：110-115
- 作者机构：
  
  1. 上海交通大学信息检测技术及仪器系上海,200030
  2. 天津大学精仪学院天津,300072
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金(41301448)
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：1998-01-19，
  
  修回日期：1998-07-06，
  
  网络出版日期：1999-02-15，
  
  纸质出版日期：1999-02-15
- 稿件说明：
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洪海涛, 叶声华. 干涉测距系统中的光程定位[J]. 光学精密工程, 1999,(1): 110-115

HONG Hai-Tao, YE Sheng-Hua . Research on the Positioning Method for Interferometer System of Absolute Distance Measurement[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1999,(1): 110-115
洪海涛, 叶声华. 干涉测距系统中的光程定位[J]. 光学精密工程, 1999,(1): 110-115 DOI：

HONG Hai-Tao, YE Sheng-Hua . Research on the Positioning Method for Interferometer System of Absolute Distance Measurement[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1999,(1): 110-115 DOI：

提出一个由定位干涉仪和测量干涉仪两部分组成的光纤干涉距离测量系统

并采用标准长度光纤实现量程倍增以增大测量范围。文中重点讨论了用准单色光源脉冲电流调制干涉实现光程定位的方法及其精度

通过理论分析和仿真实验可知

定位重复性误差优于±1μm.

In the paper

we put forward a new optic fiber interferometer to measure absolute distance consisted of a positioning interferometer and a measuring interferometer

and use the optic fiber having pre-known length to enlarge the measuring range of the system.Meanwhile

we discuss the method and the accuracy of the optic path positioning of the system in detail.In theoretical analysis and experimental research

the positioning repeatablity error is ±1μm.

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