实用型准分子激光微细加工机研制

李呈德; 万盈; 左铁钏

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实用型准分子激光微细加工机研制

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 实用型准分子激光微细加工机研制
- Development of a Practicl Excimer Laser Micromachining Tool
- 光学精密工程 1999年7卷第1期页码：79-84
- 作者机构：
  
  北京工业大学国家产学研激光技术中心北京,100022
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号：
- 收稿日期：1998-08-07，
  
  修回日期：1998-10-06，
  
  网络出版日期：1999-02-15，
  
  纸质出版日期：1999-02-15
- 稿件说明：
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李呈德, 万盈, 左铁钏. 实用型准分子激光微细加工机研制[J]. 光学精密工程, 1999,(1): 79-84

LI Cheng-De, WAN Ying, ZUO Tie-Chuan . Development of a Practicl Excimer Laser Micromachining Tool[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1999,(1): 79-84
李呈德, 万盈, 左铁钏. 实用型准分子激光微细加工机研制[J]. 光学精密工程, 1999,(1): 79-84 DOI：

LI Cheng-De, WAN Ying, ZUO Tie-Chuan . Development of a Practicl Excimer Laser Micromachining Tool[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1999,(1): 79-84 DOI：

摘要

介绍了研制成功的掩模投影式实用型准分子激光微细加工机的主要技术指标、结构特点、研制中解决的关键单元技术

并简要介绍其应用。

Abstract

The specification

constitution features and some critical problems for a practical excimer laser micromachining tool with mask projection techniques are described.Its applications are briefty introduced.

关键词

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实用型准分子激光微细加工机研制

Development of a Practicl Excimer Laser Micromachining Tool

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