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1. 中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室, 成都610209
2. 四川联合大学物理系, 成都610041
收稿日期:1998-11-03,
网络出版日期:1999-06-15,
纸质出版日期:1999-06-15
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周明宝, 林大键, 郭履容, 郭永康. 微结构表面形貌的测量[J]. 光学精密工程, 1999,(3): 7-13
ZHOU Ming-Bao, LIN Da-Jian, GUO Lü-Rong, GUO Yong-Kang . Measurement of Microstructures Topography[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1999,(3): 7-13
周明宝, 林大键, 郭履容, 郭永康. 微结构表面形貌的测量[J]. 光学精密工程, 1999,(3): 7-13 DOI:
ZHOU Ming-Bao, LIN Da-Jian, GUO Lü-Rong, GUO Yong-Kang . Measurement of Microstructures Topography[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1999,(3): 7-13 DOI:
总结了现有各种微结构表面形貌测量方法
概述了这些方法的原理、特性及发展现状
并对各种方法的优越性、存在问题以及应用范围进行了比较。
The existing various methods used to measure the surface topography of micro structures are described. The principle
property and present situation of these methods are analyzed. Comparison for superiority
the existing problems and the applied range of these methods are given.
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