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干涉法表面形貌测量使用的扩展深度测量范围的方法
论文 | 更新时间：2020-08-12

    • 干涉法表面形貌测量使用的扩展深度测量范围的方法

    • Method for Expanding the Depth Measuring Range in the Surface Topography Measurement by Interferometry

    • 光学精密工程   1999年7卷第4期 页码：1-8
    • 中图分类号： O436.1

    • 收稿日期：1998-10-12，

      修回日期：1999-03-16，

      网络出版日期：1999-08-15，

      纸质出版日期：1999-08-15

    移动端阅览

  • 周明宝. 干涉法表面形貌测量使用的扩展深度测量范围的方法[J]. 光学精密工程, 1999,(4): 1-8 DOI：

    ZHOU Ming-Bao . Method for Expanding the Depth Measuring Range in the Surface Topography Measurement by Interferometry[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1999,(4): 1-8 DOI：

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相关作者

周明宝
林大键
郭履容
郭永康
张浩
许四祥
董晨晨
周书华

相关机构

四川联合大学物理系
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
安徽工业大学 机械工程学院
柳州欧维姆机械股份有限公司
道路施工技术与装备教育部重点实验室（长安大学）
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