您当前的位置：
首页 >
文章列表页 >
离心涂胶过程的参数变化分析与模拟
论文 | 更新时间：2020-08-12

    • 离心涂胶过程的参数变化分析与模拟

    • Dynamic Analysis of Spin Coating

    • 光学精密工程   1998年6卷第4期 页码：75-80

    • 收稿日期：1998-02-20，

      网络出版日期：1998-08-15，

      纸质出版日期：1998-08-15

    移动端阅览

  • 付永启, 李奉有. 离心涂胶过程的参数变化分析与模拟[J]. 光学精密工程, 1998,(4): 75-80 DOI：

    FU Yong-Qi, LI Feng-You . Dynamic Analysis of Spin Coating[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1998,(4): 75-80 DOI：

  •  
  •  

0

浏览量

452

下载量

0

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。
提交
工具集
下载
参考文献导出
分享
收藏
添加至我的专辑

相关文章

提拉法涂胶的力学分析与模拟
球面旋涂光刻胶工艺
离心式涂胶膜厚均匀性的影响因素分析

相关作者

任延同
刘小涵
冯晓国
赵晶丽
高劲松
张红胜
程志峰
付永启

相关机构

中科院长春光学精密机械研究所, 长春 130022
中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 中国科学院光学系统先进制造 技术重点实验室, 吉林 长春 130033
中国科学院 研究生院,北京 100039
中国科学院长春光学精密机械研究所
0