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微系统集成技术研究的动向
论文 | 更新时间：2020-08-12

    • 微系统集成技术研究的动向

    • Progress in Microsystems Integrated Technology

    • 光学精密工程   1998年6卷第4期 页码：1-6

    • 收稿日期：1997-07-21，

      修回日期：1998-04-21，

      网络出版日期：1998-08-15，

      纸质出版日期：1998-08-15

    移动端阅览

  • 钟先信, 李建蜀, 肖沙里, 徐涛, 朱维安, 缪秀娥. 微系统集成技术研究的动向[J]. 光学精密工程, 1998,(4): 1-6 DOI：

    ZHONG Xian-Xin, LI Jian-Shu, XIAO Sha-Li, XU Tao, ZHU Wei-An, MIAO Xiu-E. Progress in Microsystems Integrated Technology[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1998,(4): 1-6 DOI：

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相关作者

伍小平
张培强
陈永
梅涛
汪成亮
黎凯
钟先信
陈愚

相关机构

中国科学技术大学力学与机械工程系
中国科学院合肥智能机械研究所
重庆大学光电技术及系统开放实验室微系统研究中心
重庆大学光电技术及系统开放实验室微系统研究中心
重庆大学光机系
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