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基于白光的双波长相移干涉的误差分析
论文 | 更新时间：2020-08-12

    • 基于白光的双波长相移干涉的误差分析

    • Error Analysis on Two-wavelength White-light Phase-shifting interferometry

    • 光学精密工程   1999年7卷第5期 页码：106-113
    • 中图分类号： O436.1

    • 收稿日期：1998-10-22，

      修回日期：1999-02-03，

      网络出版日期：1999-10-15，

      纸质出版日期：1999-10-15

    移动端阅览

  • 周明宝, 林大键, 郭履容, 郭永康. 基于白光的双波长相移干涉的误差分析[J]. 光学精密工程, 1999,(5): 106-113 DOI：

    ZHOU Ming-Bao, LIN Da-Jian, GUO L&#220-Rong, GUO Yong-Kang . Error Analysis on Two-wavelength White-light Phase-shifting interferometry[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1999,(5): 106-113 DOI：

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相关作者

周明宝
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相关机构

中科院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
安徽工业大学 机械工程学院
柳州欧维姆机械股份有限公司
道路施工技术与装备教育部重点实验室（长安大学）
合肥工业大学 仪器科学与光电工程学院
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