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准分子激光刻蚀技术在微机械中的应用研究
论文 | 更新时间：2020-08-12

    • 准分子激光刻蚀技术在微机械中的应用研究

    • Application of the Excimer Laser Etching Technology in Micromachine

    • 光学精密工程   1999年7卷第5期 页码：63-66
    • 中图分类号： TN305.7

    • 收稿日期：1999-07-15，

      修回日期：1999-07-25，

      网络出版日期：1999-10-15，

      纸质出版日期：1999-10-15

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  • 梁静秋, 姚劲松. 准分子激光刻蚀技术在微机械中的应用研究[J]. 光学精密工程, 1999,(5): 63-66 DOI：

    LIANG Jin-Qiu, YAO Jin-Song . Application of the Excimer Laser Etching Technology in Micromachine[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 1999,(5): 63-66 DOI：

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