特种微型机械加工技术

李勇; 郭旻; 周兆英

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特种微型机械加工技术

综述 | 更新时间：2020-08-12

- 特种微型机械加工技术
- Overview of non-traditional micromachining technologies
- 光学精密工程 2000年8卷第3期页码：287-291
- 作者机构：
  
  清华大学精密仪器与机械学系, 北京 100084
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号： TG665;TN305.7
- 收稿日期：2000-01-13，
  
  修回日期：2000-02-29，
  
  网络出版日期：2000-06-15，
  
  纸质出版日期：2000-06-15
- 稿件说明：
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李勇, 郭旻, 周兆英. 特种微型机械加工技术[J]. 光学精密工程, 2000,(3): 287-291

LI Yong, GUO Min, ZHOU Zhao-ying. Overview of non-traditional micromachining technologies[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2000,(3): 287-291
李勇, 郭旻, 周兆英. 特种微型机械加工技术[J]. 光学精密工程, 2000,(3): 287-291 DOI：

LI Yong, GUO Min, ZHOU Zhao-ying. Overview of non-traditional micromachining technologies[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2000,(3): 287-291 DOI：

摘要

综述微型机电系统/微型机械的三维形状加工及极限尺寸加工的研究开发现状.相对硅微细加工和LIGA工艺

不采用掩膜版的特种微细加工技术

如微细激光成型、微细电火花加工以及微细机械加工等近年来取得较大进展

在三维微小机械结构成型上有独到优势;同时扫描隧道显微加工技术的开发将微型机械向极限尺寸领域推进.微型机电系统/微型机械的长足发展有赖于融合已有先进技术和交叉学科思想的微型机械加工技术的进一步研究开发.

Abstract

The research activities on non-traditional micromachining technologies to shape microstructures with 3 DOF and to make microstructures with ultimate size are summarized in this paper. Compared with silicon process and LIGA process

the non-traditional micromachining technologies without mask such as stereolithography

micro EDM and micro mechanical machining have got great progress in recent years

which have advantages especially in shaping microstructures with 3 DOF. At the same time

SPM processing technology accelerates miniaturization to ultimate size area. The research and development of micromachining technologies by integrating multidisciplinary novel ideas and advanced technologies will give the possibility for getting much further progress in MEMS/micromachines.

关键词

Keywords

references

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