光电定角比相法检测圆光栅测量精度的提高

张红胜; 冯长有

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光电定角比相法检测圆光栅测量精度的提高

测试技术及设备 | 更新时间：2020-08-12

- 光电定角比相法检测圆光栅测量精度的提高
- Improvement of measurement precision of circular raster by photoelectric phase-comparing method for angle positioning
- 光学精密工程 2000年8卷第5期页码：482-486
- 作者机构：
  
  中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春,中国,130033
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号： TN253
- 收稿日期：2000-02-24，
  
  修回日期：2000-03-17，
  
  网络出版日期：2000-10-15，
  
  纸质出版日期：2000-10-15
- 稿件说明：
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张红胜, 冯长有. 光电定角比相法检测圆光栅测量精度的提高[J]. 光学精密工程, 2000,(5): 482-486

ZHANG Hong-sheng, FENG Chang-you. Improvement of measurement precision of circular raster by photoelectric phase-comparing method for angle positioning[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2000,(5): 482-486
张红胜, 冯长有. 光电定角比相法检测圆光栅测量精度的提高[J]. 光学精密工程, 2000,(5): 482-486 DOI：

ZHANG Hong-sheng, FENG Chang-you. Improvement of measurement precision of circular raster by photoelectric phase-comparing method for angle positioning[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2000,(5): 482-486 DOI：

摘要

用公式推导说明了影响光电定角比相法检测圆光栅刻划误差测量精度的因素

并用两台测量精度不同的仪器做了实验验证.文中提出

在仪器稳定

主轴回转精度高的前提下

再采用分光裂相法读数

异或门鉴相、“内插法”、“对称联系法”等措施

就能获得较高的测量精度.

Abstract

Formula is used to explain the factors affecting the measurement precision of score errors of the circular raster by photoelectric phase-comparing method for angle positioning. It is proved that

under the conditions of high stability of the instrument and high turning precision of principal axis

the higher measurement precision can be achieved by using spectroscopic phase-splitting method for reading system

inverted OR gate for phase-discrimination

interpolation method and symmetry relation method.

关键词

Keywords

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