计算机辅助检测光学薄膜参数特性的一种方法探讨

胡君; 齐钰

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计算机辅助检测光学薄膜参数特性的一种方法探讨

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 计算机辅助检测光学薄膜参数特性的一种方法探讨
- Computer-aided test of parameters characteristic of optical thin films
- 光学精密工程 2000年8卷第6期页码：540-543
- 作者机构：
  
  中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春,中国,130033
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号： TP391.76
- 收稿日期：2000-10-05，
  
  修回日期：2000-11-01，
  
  网络出版日期：2000-12-15，
  
  纸质出版日期：2000-12-15
- 稿件说明：
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胡君, 齐钰. 计算机辅助检测光学薄膜参数特性的一种方法探讨[J]. 光学精密工程, 2000,(6): 540-543

HU Jun, QI Yu . Computer-aided test of parameters characteristic of optical thin films[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2000,(6): 540-543
胡君, 齐钰. 计算机辅助检测光学薄膜参数特性的一种方法探讨[J]. 光学精密工程, 2000,(6): 540-543 DOI：

HU Jun, QI Yu . Computer-aided test of parameters characteristic of optical thin films[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2000,(6): 540-543 DOI：

摘要

简要的叙述了光学薄膜光学特性的通用计算方法

即特征矩阵法.采用这种方法的逆运算形式

应用计算机辅助计算和检测技术

在国内首次完成对多层光学薄膜镀膜后或制备过程中各膜层光学厚度的检测.同时介绍了有关的计算公式和计算程序流程

最后给出试验数据结果和结论.

Abstract

A general calculating method of optical character of optical thin films

namely characteristic matrix method is stated concisely. By taking the method of inverse operation and the computer-aided technique

the testing of thickness of optical thin films is completed firstly in China. Meanwhile

this method is also applied to the process of this coated film. The related computing formula and the programming flow chart are introduced and the experimental data is also depicted. The conclusion from our demonstration metioned above is given at last.

关键词

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