紫外-真空紫外波段的Al+MgF2膜

刘颖; 李福田

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紫外-真空紫外波段的Al+MgF₂膜

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 紫外-真空紫外波段的Al+MgF₂膜
- MgF₂-overcoated aluminium films for ultraviolet and vacuum ultraviolet
- 光学精密工程 2001年9卷第2期页码：165-168
- 作者机构：
  
  中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春,130022
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号： O484.4+1
- 收稿日期：2000-11-28，
  
  修回日期：2000-12-08，
  
  网络出版日期：2001-04-15，
  
  纸质出版日期：2001-04-15
- 稿件说明：
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刘颖, 李福田. 紫外-真空紫外波段的Al+MgF2膜[J]. 光学精密工程, 2001,(2): 165-168

LIU Ying, LI Fu-tian . MgF2-overcoated aluminium films for ultraviolet and vacuum ultraviolet[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2001,(2): 165-168
刘颖, 李福田. 紫外-真空紫外波段的Al+MgF2膜[J]. 光学精密工程, 2001,(2): 165-168 DOI：

LIU Ying, LI Fu-tian . MgF2-overcoated aluminium films for ultraviolet and vacuum ultraviolet[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2001,(2): 165-168 DOI：

摘要

Al+MgF

膜是真空紫外波段常用的一种反射膜。根据薄膜光学的电磁场理论计算了正入射条件下Al+MgF

膜在真空紫外波段的反射率随氟化镁膜厚度的变化规律。研究了Al+MgF

膜的制备工艺

利用Seya-Namioka紫外-真空紫外反射率计测得Al+MgF

膜的反射率在150nm～340nm的波段上高于80%。Al+MgF

膜制备一年后

其真空紫外波段的反射率未有明显变化。

Abstract

MgF

-overcoated aluminium films are often used in the spectral range of vacuum ultraviolet. According to the theory of electromagnetism

reflectance of Al+MgF

at normal incident was calculated in the way of matrix optics where the optical constant of MgF

was taken as a complex number. The effect of thickness of MgF

on the reflectance of Al+MgF

coatings was considered. The MgF

not only prevents the aluminum from being oxidized

but also increases the reflectance of Al+MgF

by interference. The reflectance of Al+MgF

at incident angle of 10°from 150nm～340nm is above 80% which was measured by Seya-Namioka UV-VUV reflectometer. The reflectance of Al+MgF

does not change distinctly after the aging of one year or keeping at the temperature of 55℃ for 12 h. The paper also discusses the preparation of Al+MgF

films.

关键词

Keywords

references

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