光纤点衍射干涉仪的技术研究

刘国淦; 张学军; 王权陡; 张忠玉; 郭培基; 张峰; 齐涤菲

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光纤点衍射干涉仪的技术研究

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 光纤点衍射干涉仪的技术研究
- Fiber point diffraction interferometer
- 光学精密工程 2001年9卷第2期页码：142-145
- 作者机构：
  
  中科院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林长春,130022
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  中科院重点基金(ZG99Q02B)()
- DOI：
  中图分类号： O436.1
- 收稿日期：2000-12-01，
  
  修回日期：2000-12-06，
  
  网络出版日期：2001-04-15，
  
  纸质出版日期：2001-04-15
- 稿件说明：
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刘国淦, 张学军, 王权陡, 张忠玉, 郭培基, 张峰, 齐涤菲. 光纤点衍射干涉仪的技术研究[J]. 光学精密工程, 2001,(2): 142-145

LIU Guo-gang, ZHANG Xue-jun, WANG Quan-dou, ZHANG Zhong-yu, GUO Pei-ji, ZHANG Feng, QI Di-fei . Fiber point diffraction interferometer[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2001,(2): 142-145
刘国淦, 张学军, 王权陡, 张忠玉, 郭培基, 张峰, 齐涤菲. 光纤点衍射干涉仪的技术研究[J]. 光学精密工程, 2001,(2): 142-145 DOI：

LIU Guo-gang, ZHANG Xue-jun, WANG Quan-dou, ZHANG Zhong-yu, GUO Pei-ji, ZHANG Feng, QI Di-fei . Fiber point diffraction interferometer[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2001,(2): 142-145 DOI：

摘要

提出一种用光纤实现点衍射干涉的方法

由两根光纤分别传输参考光和测试光

利用单模光纤的小纤芯所产生的高质量衍射球面波进行超精面形的测量。与传统的干涉仪相比

该方法结构相对简单

误差来源少

且不需要传统干涉仪中的高质量标准面

而是由光纤提供高精度的参考波面。

Abstract

A method implementing point-diffraction interferometry based on fiber is proposed. Two fibers transmit reference wave and testing wave

respectively

the high quality diffractive spherical wavefront created by single mode fiber can be used for measuring super-precision surface. Compared with conventional interferometers

the configuration is easier and less error.Instead of the traditional standard surface

the fiber will provide high quality reference wavefront.

关键词

Keywords

references

Malacara Daniel. Optical shop testing[M].北京:机械工业出版社, 1978.

刘德民,向清,黄德修. 光纤光学[M].北京:国防工业出版社,1995.

Sommargren Gary E. Phase shifting diffraction interferometry for measure extreme ultraviolet optics[A].OSA Annual Meeting[C]1997.

张忠玉,余景池. 用补偿器测量非球面的研究[J].光学精密工程,1999,7(1):125-129.

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