微机械微带贴片天线研究

潘武; 钟先信; 巫正中

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微机械微带贴片天线研究

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 微机械微带贴片天线研究
- Study of micromachined microstrip patch antenna
- 光学精密工程 2001年9卷第3期页码：247-251
- 作者机构：
  
  重庆大学微系统研究中心重庆,400044
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家重点基础研究发展规划项目《集成微光机电系统研究》资助,项目编号:G1999033105()
- DOI：
  中图分类号： TN821
- 收稿日期：2001-03-14，
  
  修回日期：2001-04-10，
  
  网络出版日期：2001-06-15，
  
  纸质出版日期：2001-06-15
- 稿件说明：
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潘武, 钟先信, 巫正中. 微机械微带贴片天线研究[J]. 光学精密工程, 2001,(3): 247-251

PAN Wu, ZHONG Xian-xin, WU Zheng-zhong . Study of micromachined microstrip patch antenna[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2001,(3): 247-251
潘武, 钟先信, 巫正中. 微机械微带贴片天线研究[J]. 光学精密工程, 2001,(3): 247-251 DOI：

PAN Wu, ZHONG Xian-xin, WU Zheng-zhong . Study of micromachined microstrip patch antenna[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2001,(3): 247-251 DOI：

摘要

研究了以硅材料作基底的微机械微带贴片天线.采用微细加工技术

将金属导体贴片下方的硅基底背向刻蚀出一个空腔

形成硅材料和空气构成的混合结构

从而降低基底有效介电常数.对混合结构基底的等效介电常数、天线相关参数作了理论与实验比较.

Abstract

The paper studies the silicon based micromachined microstrip patch antenna

and an air cavity fabricated by silicon micromachining. A mixed structure consisting of silicon and air cavity underneath the metal patch results in a low dielectric constant substrate. The equivalent dielectric constant of the mixed structure substrate and the relevant parameters of the antenna are studied. The calculated results are compared with the measured results.

关键词

Keywords

references

钟顺时. 微带天线理论与应用[M]. 陕西:西安电子科技大学出版社,1991.

潘武,钟先信,巫正中.微带天线的宽带化、微型化研究及微机械天线[J].微米/纳米科学技术,2000,5(1):150-155.

Horii Y, Tsutsumi M. Harmonic control by photonic bandgap on microstrip patch antenna[J]. IEEE Microwave Guided Wave Lett, 1999,9(1):13-15.

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