微分相衬干涉显微镜定量测量表面形貌

许谊; 徐毓娴; 惠梅; 蔡昕

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微分相衬干涉显微镜定量测量表面形貌

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 微分相衬干涉显微镜定量测量表面形貌
- Quantitative surface topography determination by differential interference contrast microscopy
- 光学精密工程 2001年9卷第3期页码：226-229
- 作者机构：
  
  1. 清华大学精密仪器系北京,100084
  2. 中国科学院西安光机所, 陕西西安, 710068
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助(批准号:59975052)()
- DOI：
  中图分类号： TH742
- 收稿日期：2001-01-20，
  
  修回日期：2001-02-28，
  
  网络出版日期：2001-06-15，
  
  纸质出版日期：2001-06-15
- 稿件说明：
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许谊, 徐毓娴, 惠梅, 蔡昕. 微分相衬干涉显微镜定量测量表面形貌[J]. 光学精密工程, 2001,(3): 226-229

XU Yi, XU Yu-xian, CAI Xin, HUI Mei . Quantitative surface topography determination by differential interference contrast microscopy[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2001,(3): 226-229
许谊, 徐毓娴, 惠梅, 蔡昕. 微分相衬干涉显微镜定量测量表面形貌[J]. 光学精密工程, 2001,(3): 226-229 DOI：

XU Yi, XU Yu-xian, CAI Xin, HUI Mei . Quantitative surface topography determination by differential interference contrast microscopy[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2001,(3): 226-229 DOI：

摘要

改进了用于定量测量样品表面形貌的微分相衬干涉显微镜系统

对系统中由Nomarski棱镜引起的相位差β的消零工作提出了一种新的方法

实验证明是有效可靠的

并且对样品表面三维形貌重构、截面轮廓比对及系统的测量精度进行了实验研究.

Abstract

Quantitative surface topography determination by differential interference contrast microscope system is partly exploited in this paper. A new method of minishing phase difference β to zero caused by Nomarski prism in the system is effective and reliable. The reconstruction of three-dimensional surface topography of the sample

comparison of profile curves

and the system measuring accuracy are investigated in detail.

关键词

Keywords

references

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