显微精密成像与微型机械尺寸检测技术

王向军; 王峰

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显微精密成像与微型机械尺寸检测技术

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 显微精密成像与微型机械尺寸检测技术
- Study of Micro Mechanical Size Inspection Technology by Microscope Precision Digital Image
- 光学精密工程 2001年9卷第6期页码：511-513
- 作者机构：
  
  天津大学精密仪器与光电子工程学院天津大学测试计量技术及仪器国家重点实验室, 天津大学精密仪器与光电子工程学院天津大学测试计量技术及仪器国家重点实验室天津,300072
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号： TG806
- 收稿日期：2001-08-20，
  
  修回日期：2001-09-29，
  
  网络出版日期：2001-12-15，
  
  纸质出版日期：2001-12-15
- 稿件说明：
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王向军, 王峰. 显微精密成像与微型机械尺寸检测技术[J]. 光学精密工程, 2001,(6): 511-513

WANG Xiang-jun, WANG Feng . Study of Micro Mechanical Size Inspection Technology by Microscope Precision Digital Image[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2001,(6): 511-513
王向军, 王峰. 显微精密成像与微型机械尺寸检测技术[J]. 光学精密工程, 2001,(6): 511-513 DOI：

WANG Xiang-jun, WANG Feng . Study of Micro Mechanical Size Inspection Technology by Microscope Precision Digital Image[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2001,(6): 511-513 DOI：

摘要

讨论了利用半导体或纳米制备技术和手段提供的物理空间晶格作为显微成像基准

对显微视觉成像系统的四维空间畸变进行提取、修正和实时标定

以实现视觉检测系统的精密数字成像

为微机械量、微几何量提供检测、评价和计量手段.对若干问题进行了详细的讨论

显微视觉检测是微机械量微几何量计量中最有效的方法之一

而精密数字成像是必须解决的问题之一.研究精密数字成像是视觉检测技术向微观检测领域发展所必须解决的科研课题.对微机械量和微几何量计量有重要意义

Abstract

The microscope precision digital imaging which is obtained by means of a standard object made by means of semiconductor manufacturing technology or nanotechnology approach

the extraction of four-dimensional space error of microscope vision image system

and the real-time correction and calibration to achieve precision digital imaging are discussed. An example is given for inspection of a micro structure size of 7μm. It is an important research subject for the development and application of vision inspection technology in micro-mechanical size ranging from submicrometer to 10mm.

关键词

Keywords

references

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