二维抗反射亚波长周期结构光栅的设计分析

曹召良; 卢振武; 李凤友; 张慧娟; 孙强

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二维抗反射亚波长周期结构光栅的设计分析

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 二维抗反射亚波长周期结构光栅的设计分析
- Design consideration of two-dimensional anti-reflective subwavelength periodic gratings
- 光学精密工程 2002年10卷第6期页码：537-541
- 作者机构：
  
  1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 应用光学国家重点实验室,吉林长春,中国,130033
  2. 南开大学, 现代光学研究所, 光电信息技术科学教育部重点实验室天津,300071
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金(No.60078006)();科学院创新基金资助()
- DOI：
  中图分类号： O436.1
- 收稿日期：2002-04-23，
  
  修回日期：2002-10-22，
  
  网络出版日期：2002-12-15，
  
  纸质出版日期：2002-12-15
- 稿件说明：
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曹召良, 卢振武, 李凤友, 张慧娟, 孙强. 二维抗反射亚波长周期结构光栅的设计分析[J]. 光学精密工程, 2002,(6): 537-541

CAO Zhao-liang, LU Zhen-wu, LI Feng-you, ZHANG Hui-juan, SUN Qiang. Design consideration of two-dimensional anti-reflective subwavelength periodic gratings[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2002,(6): 537-541
曹召良, 卢振武, 李凤友, 张慧娟, 孙强. 二维抗反射亚波长周期结构光栅的设计分析[J]. 光学精密工程, 2002,(6): 537-541 DOI：

CAO Zhao-liang, LU Zhen-wu, LI Feng-you, ZHANG Hui-juan, SUN Qiang. Design consideration of two-dimensional anti-reflective subwavelength periodic gratings[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2002,(6): 537-541 DOI：

摘要

利用严格耦合波理论(RCWA)和等效介质理论(EMT)研究了二维抗反射亚波长周期结构光栅的设计问题.以立方体和柱状单台阶网格光栅和金字塔形及圆锥形多台阶光栅为例

主要研究了占空比和表面面形对反射率的影响.通过计算发现

当光栅周期足够小的时候

光栅面形对反射率没有影响

同时占空比严重影响着光栅的特性

这对设计制造抗反射光栅非常有用.同时也研究了等效介质理论的适用性.

Abstract

This paper investigates the design of a two-dimensional anti-reflective subwavelength grating

by means of RCWA and EMT

take for example

the square-pillar and columned binary gratings

and pyramidal and coned multi-level gratings

the impact of filling factor and surface profile on the reflectance of a grating are mainly considered. It is shown that surface profile has no effect on the reflectivity when the period is sufficiently small

but the wavelength and the filling factor have an important impact on the diffraction characteristics of the grating. So it is very important to design an anti-reflective grating. The validity of EMT is also investigated in the paper.

关键词

Keywords

references

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