对变线距光栅干涉测量中的环形条纹的分析

朱向冰; 付绍军; 叶为全; 何世平; 陈瑾; 徐向东; 洪义麟

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对变线距光栅干涉测量中的环形条纹的分析

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 对变线距光栅干涉测量中的环形条纹的分析
- Explanation of the round interference fringes in the measurement of varied-line-space gratings
- 光学精密工程 2002年10卷第6期页码：634-638
- 作者机构：
  
  1. 中国科学技术大学, 国家同步辐射实验室,安徽合肥,230029
  2. 安徽师范大学, 物理系,安徽芜湖,241000
  3. 中国科学技术大学, 工程科学学院,安徽合肥,230027
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目(No.10272098)()
- DOI：
  中图分类号： O436.1
- 收稿日期：2002-04-21，
  
  修回日期：2002-09-12，
  
  网络出版日期：2002-12-15，
  
  纸质出版日期：2002-12-15
- 稿件说明：
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朱向冰, 付绍军, 叶为全, 何世平, 陈瑾, 徐向东, 洪义麟. 对变线距光栅干涉测量中的环形条纹的分析[J]. 光学精密工程, 2002,(6): 634-638

ZHU Xiang-bing, FU Shao-jun, YE Wei-quan, HE Shi-ping, CHEN Jin, XU Xiang-dong, HONG Yi-lin. Explanation of the round interference fringes in the measurement of varied-line-space gratings[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2002,(6): 634-638
朱向冰, 付绍军, 叶为全, 何世平, 陈瑾, 徐向东, 洪义麟. 对变线距光栅干涉测量中的环形条纹的分析[J]. 光学精密工程, 2002,(6): 634-638 DOI：

ZHU Xiang-bing, FU Shao-jun, YE Wei-quan, HE Shi-ping, CHEN Jin, XU Xiang-dong, HONG Yi-lin. Explanation of the round interference fringes in the measurement of varied-line-space gratings[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2002,(6): 634-638 DOI：

摘要

变线距光栅能够自动聚焦和消像差

在同步辐射装置、激光核聚变装置上有着广阔的应用前景

本文用干涉法测量变线距光栅的密度

设计并给出了实验中的光路

发现了环形的干涉条纹和变化规律

分析了这些现象产生的原因

产生明显的环形条纹的必要条件首先是变线距光栅的线密度单调变化的

连续增加或连续减小

其次要光栅的刻线是弯的

第三虚栅的密度接近待测光栅的整数倍

由于元件位置偏差

检测用的平面波会变成球面波

也会产生环形的干涉条纹

但是这种效应可以忽略.预言了类似双曲线的干涉条纹.通过对条纹运动规律的分析

可以在初步测量中定性分析光栅密度的变化趋势

从而为进一步测量做准备.

Abstract

Varied-line-space gratings can correct aberrations

and they are useful in synchrotron radiation devices and laser inertial confinement fusion devices. In this paper

the line-density of varied-line-space gratings is measured with interferometry. The design of optical alignment is given

and the round interference fringes and their changes are observed in experiments. The prerequisite of round interference fringes is that the density of gratings is monotone

and the density of virtual grating divided by a integer is close to it

but the grooves are curved. The fringes that hyperbolas are predicted.

关键词

Keywords

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