掠出射X射线荧光光谱仪研制

巩岩; 尼启良; 陈波; 曹健林

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掠出射X射线荧光光谱仪研制

论文 | 更新时间：2020-08-12

- 掠出射X射线荧光光谱仪研制
- Grazing exit X-ray fluorescence spectrometer
- 光学精密工程 2002年10卷第6期页码：597-601
- 作者机构：
  
  中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 应用光学国家重点实验室,吉林长春,130033
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  应用光学国家重点实验室基金资助项目(DA00Q02D)()
- DOI：
  中图分类号： O431.1
- 收稿日期：2002-06-10，
  
  修回日期：2002-10-17，
  
  网络出版日期：2002-12-15，
  
  纸质出版日期：2002-12-15
- 稿件说明：
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巩岩, 尼启良, 陈波, 曹健林. 掠出射X射线荧光光谱仪研制[J]. 光学精密工程, 2002,(6): 597-601

GONG Yan, CHEN Bo, NI Qi-liang, CAO Jian-lin. Grazing exit X-ray fluorescence spectrometer[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2002,(6): 597-601
巩岩, 尼启良, 陈波, 曹健林. 掠出射X射线荧光光谱仪研制[J]. 光学精密工程, 2002,(6): 597-601 DOI：

GONG Yan, CHEN Bo, NI Qi-liang, CAO Jian-lin. Grazing exit X-ray fluorescence spectrometer[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2002,(6): 597-601 DOI：

摘要

掠出射X射线荧光分析技术是分析薄膜特性和介质表面的一种重要工具.文中简述了利用掠出射X射线荧光技术分析薄膜厚度的原理和方法

介绍了一种在实验室里由激发光源、样品承载系统、色散系统、探测系统和数据收集及处理系统构成的掠出射X射线荧光光谱仪系统

并给出了利用

Fe放射性同位素标定该光谱仪系统的试验结果.

Abstract

The technology of grazing exit X-ray fluorescence is an important tool for the analysis of thin layer characteristics and media surfaces. The principle of analysis of thin layer thickness by this method is described in this paper. A grazing exit X-ray fluorescent spectrometer has been constructed in our lab

which is composed of an exciting source

a sample stage

a monochromator

and a detecting system

collecting data and compressing units. Meanwhile

the result of calibrating this spectrometer by.

Fe is presented.

关键词

Keywords

references

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