体硅工艺静电致动微夹持器的试验研究

李勇; 李玉和; 李庆祥; 訾艳阳

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体硅工艺静电致动微夹持器的试验研究

微纳技术 | 更新时间：2020-08-12

- 体硅工艺静电致动微夹持器的试验研究
- Electrostatically actuated microgripper based on silicon bulk microma chining
- 光学精密工程 2003年11卷第1期页码：1-5
- 作者机构：
  
  清华大学, 精密仪器与机械学系北京,100084
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  清华大学机械工程学程学院研究基金资助()
- DOI：
  中图分类号： TG759
- 收稿日期：2002-10-17，
  
  修回日期：2002-12-08，
  
  网络出版日期：2003-02-15，
  
  纸质出版日期：2003-02-15
- 稿件说明：
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李勇, 李玉和, 李庆祥, 訾艳阳. 体硅工艺静电致动微夹持器的试验研究[J]. 光学精密工程, 2003,(1): 1-5

LI Yong, LI Yu-he, LI Qing-xiang, ZI Yan-yang. Electrostatically actuated microgripper based on silicon bulk microma chining[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2003,(1): 1-5
李勇, 李玉和, 李庆祥, 訾艳阳. 体硅工艺静电致动微夹持器的试验研究[J]. 光学精密工程, 2003,(1): 1-5 DOI：

LI Yong, LI Yu-he, LI Qing-xiang, ZI Yan-yang. Electrostatically actuated microgripper based on silicon bulk microma chining[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2003,(1): 1-5 DOI：

摘要

对一种梳状静电致动微夹持器的特性进行了测试.采用显微镜-CCD-微机测试方案

微夹持器的状态信息通过数据采集及图像处理获取

得到"电压-位移"特性曲线并建立了数学方程.对特性方程的分析表明理论设计与试验结果的一致性与合理性.并分析了从设计、加工到测试过程中引起理论设计与实际器件性能差异的主要因素

表明现有的微机械设计理论与加工水平存在一定的不足.由试验结果中获取了相关微机械器件的设计经验.

Abstract

The characteristics of an electrostatically actuated comb-drive microgripp er were tested with its information and status acquired using the t est platfor m of Microscope-CCD-micro-computer. The voltage-d isplacement characteristic was obtained through image processing and analysis. The analysis of the characteristic equation deduced from miscellaneous factors indicates that the theoretical design is rational and consistent with the experimental results. The differenc e between theoretical design and practical device is discussed with the desig n rule

fabrication and experiment process taken into consideration. The causati on demonstrates that present theoretical design and fabrication technology need further improvement to meet the design requirements for micro-electromechanical devices.

关键词

Keywords

references

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