数控抛光加工应用于波前畸变校正

王健; 陈贤华; 李洁; 许乔; 蔡邦维

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数控抛光加工应用于波前畸变校正

先进制造技术 | 更新时间：2020-08-12

- 数控抛光加工应用于波前畸变校正
- Computer controlled optical finishing for wave front error correction
- 光学精密工程 2003年11卷第1期页码：79-81
- 作者机构：
  
  1. 四川大学, 电子信息学院,四川成都,610064
  2. 成都精密光学工程研究中心, 四川, 成都, 610041
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  中国工程物理研究院预研基金(No.20010214)()
- DOI：
  中图分类号： TQ171.684
- 收稿日期：2002-10-17，
  
  修回日期：2002-11-27，
  
  网络出版日期：2003-02-15，
  
  纸质出版日期：2003-02-15
- 稿件说明：
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王健, 陈贤华, 李洁, 许乔, 蔡邦维. 数控抛光加工应用于波前畸变校正[J]. 光学精密工程, 2003,(1): 79-81

WANG Jian, CHEN Xian-hua, LI Jie, XU Qiao, CAI Bang-wei . Computer controlled optical finishing for wave front error correction[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2003,(1): 79-81
王健, 陈贤华, 李洁, 许乔, 蔡邦维. 数控抛光加工应用于波前畸变校正[J]. 光学精密工程, 2003,(1): 79-81 DOI：

WANG Jian, CHEN Xian-hua, LI Jie, XU Qiao, CAI Bang-wei . Computer controlled optical finishing for wave front error correction[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2003,(1): 79-81 DOI：

摘要

高功率固体激光装置的波前校正通常采用自适应光学或衍射光学的方法

但这些方法的应用都有一定的困难.小磨头数控抛光加工技术已逐渐得到广泛的应用

用它来实现大口径高功率固体激光装置的静态波前畸变校正提供了解决此问题的新思路.文章给出了校正试验模型、试验过程和结果.波前畸变由校正前的PV值4.59 λ(λ=632.8 nm)

RMS值0.938 λ下降到校正后的PV值0.43 λ

RMS值0.075 λ.校正的效果是相当明显的

证明了其应用的可行性.

Abstract

Optics or diffraction is usually used for wave front error correction of high po wer solid laser facility. But there are still some diff iculties in applying these technologies in practice. The use of a small lap top comput er contro lled optical finishing (CCOF) for correcting the wave front error of a large ape rtur e high power solid laser facility provides a new solution to this problem. The experimental result showed that the wave front error decreased from PV 4.59 λ(λ=632.8 nm) RMS 0.938 λ to PV 0.43 λ RMS 0.075 λ and it is passible to use CCOF for wave front error correction.

关键词

Keywords

references

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