膜厚控制误差对软X射线多层膜性能影响的分析

王占山

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膜厚控制误差对软X射线多层膜性能影响的分析

材料科学与技术 | 更新时间：2020-08-12

- 膜厚控制误差对软X射线多层膜性能影响的分析
- Effect of film thickness errors on performance of soft X-ray multilayer
- 光学精密工程 2003年11卷第2期页码：136-138
- 作者机构：
  
  同济大学, 精密光学工程技术研究所, 物理系上海,200092
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目(No.60178021)();上海市科技发展基金项目(No.022261049)()
- DOI：
  中图分类号： TB43
- 收稿日期：2003-01-11，
  
  修回日期：2003-02-21，
  
  网络出版日期：2003-04-15，
  
  纸质出版日期：2003-04-15
- 稿件说明：
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王占山. 膜厚控制误差对软X射线多层膜性能影响的分析[J]. 光学精密工程, 2003,(2): 136-138

WANG Zhan-shan. Effect of film thickness errors on performance of soft X-ray multilayer[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2003,(2): 136-138
王占山. 膜厚控制误差对软X射线多层膜性能影响的分析[J]. 光学精密工程, 2003,(2): 136-138 DOI：

WANG Zhan-shan. Effect of film thickness errors on performance of soft X-ray multilayer[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2003,(2): 136-138 DOI：

摘要

针对影响多层膜性能的关键因素———膜厚控制误差进行了全面的分析计算

指出影响多层膜性能的主要误差是仪器本身的系统偏差

它使多层膜的峰值反射波长偏离设计值

使得制作出的多层膜无法满足要求;镀膜过程中的随机误差使多层膜的反射率降低

但不影响多层膜峰值反射率波长的位置

因此

在制作多层膜过程中

不但要严格控制镀膜时的系统误差

而且要控制随机误差。

Abstract

The effect of film thickness control errors on the performance of soft X-ray multilayer is discussed in detail. The results show that the primary error is a systemic error of the instrument itself which causes the peak of reflectivity change and the secondary error is a stochastic error which control decreases the magnitude of reflectivity.

关键词

Keywords

references

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