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基于原子力显微镜(AFM)的微加工系统
微纳技术 | 更新时间:2020-08-12
    • 基于原子力显微镜(AFM)的微加工系统

    • Micro-machining system based on AFM

    • 光学精密工程   2003年11卷第2期 页码:125-129
    • 中图分类号: TH742.9
    • 收稿日期:2002-10-12

      修回日期:2003-01-18

      网络出版日期:2003-04-15

      纸质出版日期:2003-04-15

    移动端阅览

  • 夏加飞, 孙涛, 闫永达, 梁迎春, 程凯, 董申. 基于原子力显微镜(AFM)的微加工系统[J]. 光学精密工程, 2003,(2): 125-129 DOI:

    XIA Jia-fei, SUN Tao, YAN Yong-da, LIANG Ying-chun, CHENG Kai, DONG Shen. Micro-machining system based on AFM[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2003,(2): 125-129 DOI:

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