小波变换及其在MEMS谐振器运动轨迹的特征提取中的应用

金翠云; 栗大超; 靳世久; 冯亚林; 李一博; 郝一龙

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小波变换及其在MEMS谐振器运动轨迹的特征提取中的应用

微纳科学与技术 | 更新时间：2020-08-12

- 小波变换及其在MEMS谐振器运动轨迹的特征提取中的应用
- Wavelet transform and its application in extraction of micro-resonator motion track features
- 光学精密工程 2004年12卷第3期页码：282-286
- 作者机构：
  
  1. 天津大学, 精密测试技术及仪器国家重点实验室天津,300072
  2. 北京大学微电子学研究院, 北京, 100871
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  "863"高技术研究发展计划资助(2002AA404090)()
- DOI：
  中图分类号： TH703
- 收稿日期：2003-12-15，
  
  修回日期：2004-02-16，
  
  网络出版日期：2004-06-15，
  
  纸质出版日期：2004-06-15
- 稿件说明：
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金翠云, 栗大超, 靳世久, 冯亚林, 李一博, 郝一龙. 小波变换及其在MEMS谐振器运动轨迹的特征提取中的应用[J]. 光学精密工程, 2004,(3): 282-286

JIN Cui-yun, LI Da-chao, JIN Shi-jiu, FENG Ya-lin, LI Yi-bo, HAO Yi-long . Wavelet transform and its application in extraction of micro-resonator motion track features[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2004,(3): 282-286
金翠云, 栗大超, 靳世久, 冯亚林, 李一博, 郝一龙. 小波变换及其在MEMS谐振器运动轨迹的特征提取中的应用[J]. 光学精密工程, 2004,(3): 282-286 DOI：

JIN Cui-yun, LI Da-chao, JIN Shi-jiu, FENG Ya-lin, LI Yi-bo, HAO Yi-long . Wavelet transform and its application in extraction of micro-resonator motion track features[J]. Editorial Office of Optics and Precision Engineering, 2004,(3): 282-286 DOI：

摘要

为测量微电机械系统(MEMS)谐振器的动态特性参数

根据MEMS谐振器运动图像的特点

将小波变换应用于MEMS谐振器运动轨迹的特征提取中.基于模糊图像合成技术

利用小波变换对MEMS谐振器的模糊运动图像进行了增强及降噪处理

并结合传统的图像处理方法

提取MEMS谐振器的运动轨迹

最终获得了MEMS谐振器的特性参数

从而可为MEMS器件的设计提供重要参考.实验结果表明

利用小波变换的方法获得了更好的测量精度

测量重复性误差为100nm.

Abstract

According to the characteristics of micro-resonator motion images

wavelet transform is used to extract the micro-resonator motion track features. Based on the blur image synthetic technique

wavelet transform was applied to enhance and abate noise of blur micro-resonator motion images

while the traditional image processing method is used to extract the motion track features

and finally the natural parameter of micro-resonator was acquired as important reference for MEMS design. In comparison with traditional image processing method

wavelet transform method has better measurement resolution

and its measurement repetition error is 100 nm.

关键词

Keywords

references

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