17.1 nm波段光电成像系统分辨率的实验研究

薛玲玲; 陈 波; 尼启良; 张 华; 曹 轲; 张 玲

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17.1 nm波段光电成像系统分辨率的实验研究

更新时间：2020-08-12

- 17.1 nm波段光电成像系统分辨率的实验研究
- Experimental study of the resolution of an optoelectronic imaging system at 17.1 nm based on MCP detector
- 光学精密工程 2005年13卷第2期页码：225-230
- 作者机构：
  
  1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林长春 130033
  2. 长春理工大学理学院,吉林长春 130022
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号： TP751
- 收稿日期：2004-12-15，
  
  修回日期：2005-01-08，
  
  网络出版日期：2005-04-30，
  
  纸质出版日期：2005-04-30
- 稿件说明：
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薛玲玲, 陈波, 尼启良, 等. 17.1 nm波段光电成像系统分辨率的实验研究[J]. 光学精密工程, 2005,13(2):225-230.

XUE Ling-ling, CHEN Bo, NI Qi-liang, et al. Experimental study of the resolution of an optoelectronic imaging system at 17.1 nm based on MCP detector[J]. Optics and precision engineering, 2005, 13(2): 225-230.
薛玲玲, 陈波, 尼启良, 等. 17.1 nm波段光电成像系统分辨率的实验研究[J]. 光学精密工程, 2005,13(2):225-230. DOI：

XUE Ling-ling, CHEN Bo, NI Qi-liang, et al. Experimental study of the resolution of an optoelectronic imaging system at 17.1 nm based on MCP detector[J]. Optics and precision engineering, 2005, 13(2): 225-230. DOI：

摘要

设计了17.1 nm波段光电成像系统

用于对波长为17.1 nm的极紫外光进行成像。该成像系统分为三大部分:光源、单色仪和探测系统。一个调Q的Nd∶YAG激光器(Continuum 9000)用来产生激光等离子体

掠入射单色仪由2块球面聚焦镜和1块600 L/mm的球面掠入射光栅组成

经单色仪分光后得到波长为17.1 nm的单色光

探测器是微通道板(MCP)和荧光屏组件共同组成

Kodak400型胶卷被用于记录狭缝的像。结果获得了一宽度为3 mm的狭缝的像

实验测得130 μm的成像系统的空间分辨率

好于相同条件下文献[6]的结果。

Abstract

An optoelectronic imaging system was designed to image EUV light at 17.1 nm. This imaging system is composed of three parts: light source

monochromator and detection system. A Q-modulated Nd-YAG laser (Continuum 9000) is used to produce laser plasma. The grazing monochromator consists of two spherical mirrors and a spherical grazing grating

by which monochromatic light at 17.1 nm is obtained and the detector is a MCP(Microchannel Plate) and phosphor screen assembly. Kodak 400 film is used to record the image of a 3 mm-width-slit obtained by this imaging system. Its spatial resolution of 130 μm is demonstrated in this paper

which is better than that of reference [6].

关键词

Keywords

references

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