一种中小口径非球面元件数控抛光技术

薛栋林; 张忠玉; 张学军

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一种中小口径非球面元件数控抛光技术

更新时间：2020-08-12

- 一种中小口径非球面元件数控抛光技术
- Computer controlled polishing technology for middle or small aspheric lens
- 光学精密工程 2005年13卷第2期页码：198-204
- 作者机构：
  
  1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术研究中心,吉林长春,130033
  2. 中国科学院研究生院,北京 100039
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号： TQ171.6+8
- 收稿日期：2005-01-14，
  
  修回日期：2005-02-24，
  
  网络出版日期：2005-04-30，
  
  纸质出版日期：2005-04-30
- 稿件说明：
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薛栋林, 张忠玉, 张学军. 一种中小口径非球面元件数控抛光技术[J]. 光学精密工程, 2005,13(2):198-204.

XUE Dong-lin, ZHANG Zhong-yu, ZHANG Xue-jun. Computer controlled polishing technology for middle or small aspheric lens[J]. Optics and precision engineering, 2005, 13(2): 198-204.
薛栋林, 张忠玉, 张学军. 一种中小口径非球面元件数控抛光技术[J]. 光学精密工程, 2005,13(2):198-204. DOI：

XUE Dong-lin, ZHANG Zhong-yu, ZHANG Xue-jun. Computer controlled polishing technology for middle or small aspheric lens[J]. Optics and precision engineering, 2005, 13(2): 198-204. DOI：

摘要

基于自主设计研制的FSGJ-3型非球面数控加工中心

针对口径φ108 mm凸非球面透镜(曲率半径

＝318 mm

=－3)

研究了非球面粗抛光工艺、精抛光工艺、抛光设备、磨料以及相关工艺参数

提出了规范的中小口径非球面加工的工艺方法和新型轮式抛光技术

实现了中小口径非球面元件的数控快速精密铣磨成型

且保证了光学零件具有较高的面形精度。抛光后元件面形精度达到0.306 λ(PV)、0.028λ(RMS) (λ=0.632 8μm)。满足了在光学系统中使用非球面零件

明显改善像质

提高光学特性

减少光学零件数目

从而简化系统结构

减小系统体积

减轻系统质量的目的。

Abstract

Based on aspheric computer controlled manufacturing center (FSGJ-3)

as forφ108 mm aspheric lens (

=318 mm

=－3)

the polishing equipment

tools

abrasives and testing method used in polishing are researched. Wheeled polishing technology for the middle or small aspheric lens is introduced. It's showed that the final surface figure of the lens is 0.306λ(PV)、0.028λ(RMS) (λ=0.632 8μm). Discussing and analyzing the key technology of middle or small aspheric lens in detail

supplies a basic technology guarantee for aspheric optical component to reduce the size

weight and complexity of decreasing the number of surfaces required to form unaberrated images.

关键词

Keywords

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