新型压电步进型精密直线驱动器

刘国嵩; 赵宏伟; 曾平; 程光明; 杨志刚

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新型压电步进型精密直线驱动器

更新时间：2020-08-12

- 新型压电步进型精密直线驱动器
- Novel sophisticated stepping linear piezoelectric actuator
- 光学精密工程 2005年13卷第3期页码：291-297
- 作者机构：
  
  吉林大学机械科学与工程学院,吉林长春 130025
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号： TN384;TH703.6
- 收稿日期：2005-02-06，
  
  修回日期：2005-04-18，
  
  网络出版日期：2005-06-30，
  
  纸质出版日期：2005-06-30
- 稿件说明：
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刘国嵩, 赵宏伟, 曾平, 等. 新型压电步进型精密直线驱动器[J]. 光学精密工程, 2005,13(3):291-297.

LIU Guo-song, ZHAO Hong-wei, ZENG Ping, et al. Novel sophisticated stepping linear piezoelectric actuator[J]. Optics and precision engineering, 2005, 13(3): 291-297.
刘国嵩, 赵宏伟, 曾平, 等. 新型压电步进型精密直线驱动器[J]. 光学精密工程, 2005,13(3):291-297. DOI：

LIU Guo-song, ZHAO Hong-wei, ZENG Ping, et al. Novel sophisticated stepping linear piezoelectric actuator[J]. Optics and precision engineering, 2005, 13(3): 291-297. DOI：

摘要

以压电叠堆为驱动元件

设计了新型的步进型精密直线驱动器。驱动器由于设计了独特的双侧对称箝位结构

可以利用精调斜块准确调整箝位面与动子的配合间隙

同时采用整体加工的柔性结构

保证了工作的稳定性和准确性。应用有限元分析方法对步进型精密直线驱动器进行了力学分析

并进行了大量的试验研究。试验测试结果表明:驱动器的分辨率达到40 nm、行程18 mm、驱动速度达到6 mm/min

可牵引150 g的载荷。

Abstract

A novel sophisticated stepping linear piezoelectric actuator was designed based on piezoelectric stack as actuator element. Because of used unique double symmetric anchoring/loosing

tolerance clearance between anchoring/loosing and runner is modulated precisely by using oblique blocks

meanwhile

applying flexible structure of overall structure processing ensures stability and accuracy of actuator. Mechanical properties of the stepping linear sophisticated piezoelectric actuator are analysed with finite element method and a number of experiments were carried out. The results of test suggest actuator has a resolution of 40 nm

travel of 18 mm

velocity of 6 mm/min and loading capacity of 150 g.

关键词

Keywords

references

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