一种采用微硅片狭缝的新型微小型光纤光谱仪

周连群; 吴一辉; 张 平; 宣 明; 贾宏光; 李正刚

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一种采用微硅片狭缝的新型微小型光纤光谱仪

更新时间：2020-08-12

- 一种采用微硅片狭缝的新型微小型光纤光谱仪
- A new mini-fiber-spectrometer adopting micro-silicon-slit
- 光学精密工程 2005年13卷第6期页码：637-642
- 作者机构：
  
  1. 中国科学院研究生院北京,100039
  2. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室, 吉林长春,130033
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号： O433.1;TH744.1
- 收稿日期：2005-07-22，
  
  修回日期：2005-09-01，
  
  网络出版日期：2005-12-30，
  
  纸质出版日期：2005-12-30
- 稿件说明：
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周连群, 吴一辉, 张平, 等. 一种采用微硅片狭缝的新型微小型光纤光谱仪[J]. 光学精密工程, 2005,13(6):637-642.

ZHOU Lian-qun, WU Yi-hui, ZHANG Ping, et al. A new mini-fiber-spectrometer adopting micro-silicon-slit[J]. Optics and precision engineering, 2005, 13(6): 637-642.
周连群, 吴一辉, 张平, 等. 一种采用微硅片狭缝的新型微小型光纤光谱仪[J]. 光学精密工程, 2005,13(6):637-642. DOI：

ZHOU Lian-qun, WU Yi-hui, ZHANG Ping, et al. A new mini-fiber-spectrometer adopting micro-silicon-slit[J]. Optics and precision engineering, 2005, 13(6): 637-642. DOI：

摘要

研制了一种采用微硅片狭缝代替传统机械狭缝的微小型光纤光谱仪。采用MEMS(微机电系统)工艺制造出了体积小、厚度薄的一体式微硅片狭缝

并分析了微硅片狭缝的狭缝不平直度对微小型光纤光谱仪分辨率的影响

通过测试系统分辨率的实验

验证了采用微硅片狭缝的可行性。同时

对微小型光纤光谱仪的光谱带宽和像元分辨力进行了讨论

为波长的标定提供了一种理论依据。通过对采集的汞灯谱线的分析和MATLAB的精确计算

验证了所提出的通用波长-像元迭代公式的正确性

从而研制出了一种采用微硅片狭缝的半峰全宽为0.85 nm

波长标定精度小于0.2 nm

体积为50 mm×46 mm×14 mm的微小型光纤光谱仪。

Abstract

A new mini-fiber-spectrometer was developed with micro-silicon-slit instead of traditional mechanical slit. By calculating the impact of nonlinearity MEMS-based slit on the resolution of the mini-fiber-spectrometer and measuring the resolution of the system

it finds that using micro-silicon slit is efficient. Meantime

a theory for wavelength-pixel calibrating was brought forward after analyzing the resolution of pixel and FWHM

which was validated by analyzing data of the experiments of measuring the mercury-arc and fine calculating through the tool of MATLAB system. The results show that the new mini-fiber-spectrometer with micro-silicon-slit is worked out

its FWHM is 0.85 nm

the precision of the wavelength calibration is less than 0.2 nm and the volume is 50 mm×46 mm×14 mm.

关键词

Keywords

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