微驱动定位系统及其在误差补偿机器人中的应用

晏祖根; 孙立宁; 节德刚

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微驱动定位系统及其在误差补偿机器人中的应用

更新时间：2020-08-12

- 微驱动定位系统及其在误差补偿机器人中的应用
- Research of micro-driven table based on PZT and its control system
- 光学精密工程 2005年13卷第6期页码：703-708
- 作者机构：
  
  哈尔滨工业大学机器人研究所,黑龙江哈尔滨,150001
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号： TP242
- 收稿日期：2005-05-22，
  
  修回日期：2005-09-08，
  
  网络出版日期：2005-12-30，
  
  纸质出版日期：2005-12-30
- 稿件说明：
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晏祖根, 孙立宁, 节德刚. 微驱动定位系统及其在误差补偿机器人中的应用[J]. 光学精密工程, 2005,13(6):703-708.

YAN Zu-gen, SUN Li-ning, JIE De-gang. Research of micro-driven table based on PZT and its control system[J]. Optics and precision engineering, 2005, 13(6): 703-708.
晏祖根, 孙立宁, 节德刚. 微驱动定位系统及其在误差补偿机器人中的应用[J]. 光学精密工程, 2005,13(6):703-708. DOI：

YAN Zu-gen, SUN Li-ning, JIE De-gang. Research of micro-driven table based on PZT and its control system[J]. Optics and precision engineering, 2005, 13(6): 703-708. DOI：

摘要

介绍了基于偏摆误差补偿的高速高精度机器人系统组成及偏摆误差补偿原理

利用有限元分析软件ANSYS

设计了双层平行板弹性铰链结构、压电陶瓷(PZT)直接驱动的微位移工作台。采用模糊PI控制算法对微动工作台进行闭环控制

既利用模糊控制灵活、适应性强的优点

又利用PI控制精度高的优点。实验结果验证了模糊PI控制算法的有效性

采用微动工作台补偿偏摆误差

机器人的运动性能得到较大提高。

Abstract

The high-speed high-precision robot based on error compensation was presented. The micro-driven table was designed by means of ANSYS. The table consisted of a parallel board framework and direct-driven by PZT which integrated high-resolution strain transducer. Experiments demonstrate that the steady time of the micro-driven table has been shortened significantly by adopting the fuzzy PI controller

and the motion performance index of robot is improved by using the micro-driven table to compensate the swing displacement

关键词

Keywords

references

. 节德刚,刘延杰,孙立宁,等. 一种宏微双重驱动精密定位机构的建模与控制 . 光学精密工程,2005,4:171-177. JIE D G,LIU Y J,SUN L N.Modeling and control of a macro-micro dual-drive ultra-precision positioning mechanism[J].Optics and Precision Engineering,2005,4:171-177.(in Chinese)

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