一种可控曲面光栅的研制

何世平; 叶 超; 谢永军; 付绍军

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一种可控曲面光栅的研制

更新时间：2020-08-12

- 一种可控曲面光栅的研制
- Fabrication of a controllable curved surface grating
- 光学精密工程 2006年14卷第2期页码：197-201
- 作者机构：
  
  1. 中国科学技术大学国家同步辐射实验室,安徽合肥,230026
  2. 中国科学技术大学力学和机械工程系,安徽合肥,230027
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：
  中图分类号： O436.1
- 收稿日期：2005-10-22，
  
  修回日期：2006-01-18，
  
  网络出版日期：2006-04-30，
  
  纸质出版日期：2006-04-30
- 稿件说明：
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何世平, 叶超, 谢永军, 等. 一种可控曲面光栅的研制[J]. 光学精密工程, 2006,14(2):197-201.

HE Shi-ping, YE Chao, XIE Yong-jun, et al. Fabrication of a controllable curved surface grating[J]. Optics and precision engineering, 2006, 14(2): 197-201.
何世平, 叶超, 谢永军, 等. 一种可控曲面光栅的研制[J]. 光学精密工程, 2006,14(2):197-201. DOI：

HE Shi-ping, YE Chao, XIE Yong-jun, et al. Fabrication of a controllable curved surface grating[J]. Optics and precision engineering, 2006, 14(2): 197-201. DOI：

摘要

提出了一种制作曲面变间距光栅的方法。首先在平面基片上制作光栅

然后通过一种高分子材料(PDMS)作为载体将光栅转移到曲面上

而事先涂在曲面上的混合溶胶-凝胶取代了传统的光刻胶

使得光栅的制作效率大大提高。采用这种方法在曲率半径为100 mm的凹球面基底上制作了平均线密度为80 l/mm的光栅

并用环境扫描电镜以及数字图像处理法检测了光栅的线密度分布。检测结果表明:光栅质量好

条纹清楚

衍射效率也没有降低。所制曲面光栅具有平面光栅和透镜两种光学器件的功能

可用曲面变间距光栅一种光学元件取代透镜和平面光栅两种光学元件

简化了光路

提高了制作效率

降低了成本。

Abstract

A fabrication method of VLSG(Varied-line-space Grating) was presented. The grating was fabricated on plane substrate

and then it was transferred on curved surface by a macromolecule material(PDMS) used as a carrier. The hybrid gel film on curved surface can replace traditional light-sensitive lacquer

and improve the grating's stability. The VLSG with the line density of 80 l/mm was fabricated on a concave lens surface with curved radius of 100 mm. The grating line density distribution was detected with SEM and digital image process technique. For having the functions of the lens and plane grating

the results show that the high quality grating can replace lens and plane grating in good processing

efficiency and cost.

关键词

Keywords

references

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